[实用新型]转台轴线方向位移测量装置有效
申请号: | 202020790141.9 | 申请日: | 2020-05-13 |
公开(公告)号: | CN211954036U | 公开(公告)日: | 2020-11-17 |
发明(设计)人: | 李艳红;柴娟芳;赵吕懿;沈涛;朱炜;陈强华;刘斌超;荆娜;张琰;冯晓晨;田义;杨扬;周麟 | 申请(专利权)人: | 上海机电工程研究所;北京理工大学;北方工业大学 |
主分类号: | G01B11/02 | 分类号: | G01B11/02 |
代理公司: | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人: | 胡晶 |
地址: | 201100 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种转台轴线方向位移测量装置,包括双频激光头100、分光组件200、干涉光路组件300、检测系统400、转台反射件510、转台520、支撑平台540、缩束组件700以及光隔离组件800,转台520为待测量件,转台反射件510设置在转台520上,双频激光头100、分光组件200、干涉光路组件300、缩束组件700以及光隔离组件800均安装在支撑平台540上。本实用新型容易实现共光路结构,使测量系统具有很好的抗干扰性与稳定性,实现了光隔离的功能,有效防止回授光带来的双频激光头失稳,相位传感器没有读数的问题;本实用新型可获得更高的测量精度,适合五轴转台的现场校准需求。 | ||
搜索关键词: | 转台 轴线 方向 位移 测量 装置 | ||
【主权项】:
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