[实用新型]一种具有散热功能的溅镀载具有效
| 申请号： | 202020798533.X | 申请日： | 2020-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN212357377U | 公开（公告）日： | 2021-01-15 |
| 发明（设计）人： | 刘淮健 | 申请（专利权）人： | 江苏栢煜包装材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/34;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京化育知识产权代理有限公司 11833 | 代理人： | 闫露露 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种具有散热功能的溅镀载具，属于金属高分子基材处理领域，一种具有散热功能的溅镀载具，包括溅镀载具和冷却剂供应源，所述溅镀载具的外侧设有矩形框架，所述矩形框架正面和左侧的内部均开设有分流管，所述矩形框架背面和右侧的内部均开设有汇流管，所述矩形框架的中部连接有冷却管路，冷却剂在冷却管路内部流动的同时会带走溅镀载具以及顶部基板的热量，能很好的对基板进行降温，能很好的降低溅镀时溅镀载具的温度，使溅镀载具的温度维持于基本受热的安全值内部，省去将溅镀载具进行静置冷却的程序，且不需要准备多个供替换的溅镀载具，能使溅镀工艺更加简便，且省去了准备大量替换溅镀载具耗费的成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 散热 功能 溅镀载具 | ||
【主权项】：
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