[实用新型]一种准单晶硅片的无尘清洗装置有效
| 申请号： | 202020823483.6 | 申请日： | 2020-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN212349657U | 公开（公告）日： | 2021-01-15 |
| 发明（设计）人： | 盛德生;卜延青;王丽华;韩春蕾;张婷 | 申请（专利权）人： | 连云港市质量技术综合检验检测中心 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 连云港联创专利代理事务所(特殊普通合伙) 32330 | 代理人： | 刘刚 |
| 地址： | 222000 江苏省连云*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种准单晶硅片的无尘清洗装置，包括底座箱、清洗箱、传输带、支撑杆、固定机构和拆卸机构，所述支撑杆的一侧设置有支撑板，所述支撑板的一侧表面固定连接有安装板，所述固定机构位于安装板的一侧，所述固定机构包括固定夹板，所述安装板的一侧表面开设有安装槽，所述固定夹板与安装槽的间隙处连接有第一弹簧；本实用新型通过设置的固定夹板，有效避免了不能固定住待清洗单晶硅片，有利于待清洗单晶硅片无死角清洗，大大提高了装置的清洗效果，通过设置的连接板，有效避免了装置上的喷头长时间使用发生损坏需要拆卸时，拆卸过程繁琐，有利于便捷安装、拆卸，大大提高了工作人员的工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶硅 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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