[实用新型]一种集中供源装置有效
| 申请号： | 202020824099.8 | 申请日： | 2020-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN213222075U | 公开（公告）日： | 2021-05-18 |
| 发明（设计）人： | 刘群;平飞林;庞爱锁;林佳继 | 申请（专利权）人： | 深圳市拉普拉斯能源技术有限公司 |
| 主分类号： | B01J4/00 | 分类号： | B01J4/00;B01J4/02;F17C13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 杭州天昊专利代理事务所(特殊普通合伙) 33283 | 代理人： | 董世博 |
| 地址： | 518118 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种集中供源装置,包括源瓶、为源瓶提供源液的源桶以及为源瓶保温的控温腔体，所述源桶上设置有压力控制装置、补充源液的进酸管道和为源瓶输送源液的补液件，所述源瓶上设置有输入载气的进气管和管路输送机构，所述管路输送机构包括输出气体的气体输送机构和泄压管道机构,本实用新型采用集中供源的方式对多个源瓶进行供液，集中供源一次补液，使用时间长久，无需拆卸搬运换源瓶，只是对接进酸口，外部进酸，减少风险，同时降低源瓶中液体量的波动，使气体所携带的源量一致，源瓶中液体压力一致，同时降低了气体对源液温度的影响，本实用新型的源液连续使用，使用无浪费，提高了源液的利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集中 装置 | ||
【主权项】：
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