[实用新型]一种LDI分段式真空吸盘及LDI设备有效
| 申请号： | 202020832934.2 | 申请日： | 2020-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN212060868U | 公开（公告）日： | 2020-12-01 |
| 发明（设计）人： | 肖燕青;陶元春 | 申请（专利权）人： | 江苏影速集成电路装备股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 哈尔滨市阳光惠远知识产权代理有限公司 23211 | 代理人： | 彭素琴 |
| 地址： | 221000 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种LDI分段式真空吸盘及LDI设备，属于曝光技术领域。通过提供一种分段式真空吸盘，其中一段吸盘主体划分为M列，每一列连接一个纵向独立电磁阀；另外一段吸盘主体划分为N行，每一行连接一个横向独立电磁阀；在对小尺寸PCB板进行吸附时，只在横向或者纵向上存在漏在外面的吸真空气孔，也即相对于现有技术减少了漏在外面的吸真空气孔，在能够满足更多PCB板尺寸的同时，尽可能的减少了漏在外面的吸真空气孔数量，尽可能的降低了对吸盘整体真空环境的破坏。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 ldi 段式 真空 吸盘 设备 | ||
【主权项】：
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