[实用新型]一种自动检测单晶硅棒晶向的机构有效
| 申请号： | 202020837299.7 | 申请日： | 2020-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN212364177U | 公开（公告）日： | 2021-01-15 |
| 发明（设计）人： | 朱亮;卢嘉彬;周锋;吴兵兵;高红刚;罗叶枫;严浩;曹建伟;傅林坚 | 申请（专利权）人： | 浙江晶盛机电股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/72 | 分类号： | G01N27/72;G01B7/00 |
| 代理公司： | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人： | 周世骏 |
| 地址： | 312300 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及单晶硅加工技术领域，尤其涉及一种自动检测单晶硅棒晶向的机构。包括底座，滑台气缸，测量臂、磁性传感器和磁条。底座上设有滑台气缸，连接座设于滑台气缸上。连接座上端面设有导轨，连接座上端面后端设有挡板。导轨上通过滑块设有测量臂，测量臂前端设有滚动体；磁性传感器通过传感器连接板安装在测量臂侧部，连接座上端面开有槽口，槽口方向与测量臂运动方向一致，磁条设于槽口内，并位于磁性传感器下方；导向杆前端插在测量臂里，导向杆后端固设于挡板上。本实用新型实现了自动检测晶棒晶向，取代人工操作，节约时间和成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自动检测 单晶硅 机构 | ||
【主权项】：
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