[实用新型]一种MEMS芯片唯一标识符装置有效
| 申请号： | 202020843406.7 | 申请日： | 2020-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN213423389U | 公开（公告）日： | 2021-06-11 |
| 发明（设计）人： | 黄向向;杨敏;莱昂纳多·萨拉;道格拉斯·雷·斯巴克斯;关健;梁泽山;孙斯佳;张晓磊;陈琳 | 申请（专利权）人： | 罕王微电子（辽宁）有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R31/26;B81C99/00 |
| 代理公司： | 沈阳晨创科技专利代理有限责任公司 21001 | 代理人： | 张晨 |
| 地址： | 113000 辽宁省抚顺*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 一种MEMS芯片唯一标识符装置，包括MEMS芯片，MEMS芯片敏感元件区域，MEMS芯片唯一标识符电阻，MEMS芯片唯一标识符电阻焊盘；MEMS芯片敏感元件区域有多种结构；MEMS芯片敏感元件区域周围制作的电阻条；MEMS芯片唯一标识符电阻的焊盘，用于电阻条的电学连接。本实用新型的优点：永久保存在MEMS芯片中的唯一标识符。能利用唯一标识符提高可追溯性和可测试性。使用高电阻率/方块电阻材料来限制电阻尺寸，能使唯一标识符使芯片总体尺寸不受影响。MEMS芯片中的唯一标识符中涉及到的专用集成电路ASIC，既能专门设计，也能通过共用MEMS产品中现有专用集成电路实现，降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 芯片 唯一 标识符 装置 | ||
【主权项】：
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