[实用新型]一种镀膜腔室中真空规的防护结构有效
| 申请号： | 202020846130.8 | 申请日： | 2020-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN213022114U | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | 吴迪 | 申请（专利权）人： | 四川九天真空科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L21/00 | 分类号： | G01L21/00;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京华旭智信知识产权代理事务所(普通合伙) 11583 | 代理人： | 李丽 |
| 地址： | 637221 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种镀膜腔室中真空规的防护结构，包括：腔室盖板(1)、遮挡罩(2)、连接件、卡箍(5)、真空规(6)，所述腔室盖板(1)朝真空室一侧开有刀口法兰接口，朝大气一侧焊接设置KF接头，所述真空规(6)通过卡箍和KF接头与所述腔室盖板(1)连接，所述遮挡罩(2)与所述连接件焊接连接，通过所述连接件与腔室盖板(1)连接，所述遮挡罩(2)的侧面上开设有通孔，由此使得真空室与真空规连通。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镀膜 腔室中 真空 防护 结构 | ||
【主权项】：
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