[实用新型]4吋规格notch基片的寻边装置和光刻系统有效
| 申请号： | 202020861795.6 | 申请日： | 2020-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN212256005U | 公开（公告）日： | 2020-12-29 |
| 发明（设计）人： | 李华;王晓军 | 申请（专利权）人： | 上海探跃半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 200000 上海市浦东新区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型实施例公开了一种4吋规格notch基片的寻边装置和光刻系统，该4吋规格notch基片的寻边装置包括：载片台，用于承载基片；驱动组件，用于驱动载片台上的基片绕其中心旋转；发射光纤传感器，固定于载片台的底部，用于发射第一光信号，第一光信号照射至基片上；接收光纤传感器，固定于载片台的一侧，用于接收第一光信号经过基片后形成的第二光信号；处理器，与发射光纤传感器和接收光纤传感器通信连接，并根据第一光信号对应的电信号和第二光信号对应的电信号，确定基片的notch位置。本实用新型实施例提供的寻边装置，对原有寻flat信号的改造，使之具有寻notch功能，即可使Nikon G6光刻机能够实现4吋规格notch基片基于notch口的寻边，满足技术需求。 | ||
| 搜索关键词： | 规格 notch 装置 光刻 系统 | ||
【主权项】：
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