[实用新型]一种偏振均匀平行光产生装置及自动光学检测系统有效
| 申请号： | 202020868488.0 | 申请日： | 2020-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN212207138U | 公开（公告）日： | 2020-12-22 |
| 发明（设计）人： | 洪志坤;范景洋;张胜森;欧昌东;郑增强 | 申请（专利权）人： | 武汉精立电子技术有限公司;武汉精测电子集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/25;G01B11/00;G01B11/02 |
| 代理公司： | 武汉东喻专利代理事务所(普通合伙) 42224 | 代理人： | 王聪聪 |
| 地址： | 430205 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种偏振均匀平行光产生装置及自动光学检测系统，该装置包括光源、光束均匀与平行组件、第一起偏器、半透半反镜和第二起偏器；光束均匀与平行组件对光源出射光束进行处理后形成平行光；平行光透过第一起偏器后形成线偏振光，射向半透半反镜的线偏振光经反射后垂直照射在待测物品表面；该线偏振光与待测物品的表面缺陷作用后产生偏振态发生变化的散射光以及偏振态未变化的镜面反射光；散射光和镜面反射光经半透半反镜后射向第二起偏器，第二起偏器的偏振方向被配置为与第一起偏器呈90°，以滤除镜面反射光且允许散射光通过；本实用新型有效滤除对缺陷检测影响较大的镜面反射光且不影响正常的缺陷成像，提高对缺陷信息的灵敏度和分辨能力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 偏振 均匀 平行 产生 装置 自动 光学 检测 系统 | ||
【主权项】：
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