[实用新型]一种边缘检测设备有效
| 申请号： | 202020883588.0 | 申请日： | 2020-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN210894083U | 公开（公告）日： | 2020-06-30 |
| 发明（设计）人： | 王强 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01;G01N21/95;G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;黄灿 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种边缘检测设备，所述设备包括：夹片机构，所述夹片机构包括水平设置的夹片台和若干周向间隔设置于所述夹片台外周的夹片杆，所述夹片杆沿夹片台的半径方向向外延伸，所述夹片机构用于固定硅片；驱动机构，所述驱动机构与夹片机构连接，用于驱动所述夹片机构自转或沿第一水平线运动以使夹片机构在转移工位和测量工位之间切换；升降机构，设置在转移工位，所述升降机构包括若干升降臂和设置于升降臂上的机械爪，所述机械爪用于抓取硅片。根据本实用新型实施例的边缘检测设备，可以避免夹片机构与升降机构工作时发生碰撞而导致部件变形甚至损坏，继而避免需要更换部件而导致的成本增加和因设备需要重新调整而导致生产效率降低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 边缘 检测 设备 | ||
【主权项】：
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