[实用新型]一种钙钛矿太阳能电池生产用硅片表面酸洗装置有效
| 申请号： | 202020886138.7 | 申请日： | 2020-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN212461610U | 公开（公告）日： | 2021-02-02 |
| 发明（设计）人： | 刘立帮 | 申请（专利权）人： | 武汉鑫誉金天科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司： | 武汉智慧恒知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42232 | 代理人： | 张熔舟 |
| 地址： | 430080 湖北省武汉市青山区友谊大道*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种钙钛矿太阳能电池生产用硅片表面酸洗装置，涉及太阳能电池表面酸洗技术领域，为解决硅片与酸洗液进行静置反应，反应速率较慢，在进行大量酸洗加工时，所耗用时间大大增加，酸洗效率不佳，不能满足使用需求的问题。所述酸洗台的上方设置有机架和挡板，所述机架与挡板之间设置有酸洗池，且酸洗池与酸洗台相贴合，所述酸洗池的内部设置有滤网，且滤网与酸洗池的内壁相贴合，所述机架的内部设置有第一电机，所述机架的下方设置有滑动块，所述滑动块的内部设置有升降腔，所述升降腔的内部设置有升降块，所述升降块的下方设置有固定框，所述固定框的内部设置有硅片，所述升降块的内部设置有第二电机。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 钙钛矿 太阳能电池 生产 硅片 表面 酸洗 装置 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
