[实用新型]铜蚀刻液预处理系统有效

专利信息
申请号: 202020886752.3 申请日: 2020-05-23
公开(公告)号: CN212417181U 公开(公告)日: 2021-01-29
发明(设计)人: 范晨君;崔文斌;崔文晶;朱伟国;杨居;张玉群 申请(专利权)人: 苏州华锋环保技术有限公司
主分类号: B01D29/56 分类号: B01D29/56;B01D29/96;B01D29/01;B01J19/18
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215000 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型涉及一种铜蚀刻液预处理系统,包括依次连接设置的用于制备铜蚀刻液的反应釜、用于对铜蚀刻液进行初步过滤的初步过滤装置和用于对铜蚀刻液进行二次过滤的二次过滤装置;反应釜的出液口与初步过滤装置的进液之间设有第一水泵,初步过滤装置的出液口与二次过滤装置的进液口之间设有第二水泵;初步过滤装置和二次过滤装置内均可拆卸连接有多层过滤芯。本实用新型预在处理工序进行一段时间后可以较易的从初步过滤装置和二次过滤装置拆下过滤芯,更换洁净的过滤芯,确保初步过滤装置和二次过滤装置能够保持高质高效的过滤性能,提高铜蚀刻液预处理的效率和过滤效果,达到提高提高铜蚀刻液纯度的效果。
搜索关键词: 蚀刻 预处理 系统
【主权项】:
暂无信息
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