[实用新型]一种半自动研磨液的供应装置有效
| 申请号： | 202020891779.1 | 申请日： | 2020-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN213352080U | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | 罗保兴;杨凯 | 申请（专利权）人： | 上海吉啸电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02 |
| 代理公司： | 北京久维律师事务所 11582 | 代理人： | 邢江峰 |
| 地址： | 201400 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种半自动研磨液的供应装置，具体涉及半导体制造领域。该装置主要包括外壳、排风装置、电控箱、操控屏、研磨液存储桶、电控搅拌装置、隔膜液泵等相关连接阀门和管道。电控搅拌装置用于研磨液存储桶定时搅拌防止研磨液中悬浮物质上下分层结晶；隔膜液泵用于研磨液存储桶内的循环和研磨液的供应输出。本实用新型提供了半导体制造企业提供一种操作及保养简单、成本低廉而且占用场地面积较小等特性的装置，其次客户可以根据自身企业的产能需求来自行选择研磨液的供应模块数量，在满足企业实际发展需要的同时，也灵活的解决了因购买成套化学研磨液的供应系统而带来的资金压力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半自动 研磨 供应 装置 | ||
【主权项】：
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