[实用新型]研磨盘的清洁装置和研磨设备有效
| 申请号： | 202020892125.0 | 申请日： | 2020-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN212240562U | 公开（公告）日： | 2020-12-29 |
| 发明（设计）人： | 郭宇轩 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34;B24B37/11 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 黄灿;顾春天 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种研磨盘的清洁装置和研磨设备，清洁装置用于清洁研磨盘的沟槽，所述清洁装置包括第一收放线驱动器、第二收放线驱动器和清洁线，所述清洁线的两端分别与所述第一收放线驱动器和所述第二收放线驱动器相连，且所述清洁线能够在所述第一收放线驱动器和/或所述第二收放线驱动器的带动下沿所述沟槽移动以清洁所述沟槽。这样，本实用新型实施例中，通过设置清洁线，并利用第一收放线驱动器和第二收放线驱动器带动清洁线，沿沟槽移动从而实现利用清洁线对研磨盘的沟槽进行清洁，降低了划伤研磨盘的可能性，有助于提高清洁研磨盘的便利程度。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 清洁 装置 设备 | ||
【主权项】：
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