[实用新型]一种槽式清洗机有效
| 申请号： | 202020899379.5 | 申请日： | 2020-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN212976079U | 公开（公告）日： | 2021-04-16 |
| 发明（设计）人： | 郭炳熙;刘留;周铁军;陈勇;喻胜举 | 申请（专利权）人： | 广东先导先进材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/04 | 分类号： | B08B3/04;B08B3/08;H01L21/67 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 颜希文;宋亚楠 |
| 地址： | 511517 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及半导体清洁装置技术领域，公开了一种槽式清洗机，包括箱体和安装组件，所述箱体内限定有用于容纳清洁剂的清洁槽，所述安装组件包括安装板、用于安装晶圆的旋转架和旋转驱动装置，所述旋转驱动装置与所述旋转架均安装在所述安装板上，所述旋转架和所述旋转驱动装置的输出端相连，所述安装板可拆卸安装在所述清洁槽的槽口上。采用本实用新型技术方案的槽式清洗机，结构简单，晶圆表面清洗液呈流动状态，对晶圆表面刻蚀均匀性及表面清洁都会得到有效提高，避免了晶圆出现缺陷，提高生产效率和成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 清洗 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广东先导先进材料股份有限公司，未经广东先导先进材料股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202020899379.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
