[实用新型]一种氧化铌靶材有效
| 申请号： | 202020915554.5 | 申请日： | 2020-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN212770921U | 公开（公告）日： | 2021-03-23 |
| 发明（设计）人： | 侯俊男;牛中奇 | 申请（专利权）人： | 东莞市兆广电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/34 |
| 代理公司： | 东莞市凯粤智华专利商标代理事务所(普通合伙) 44698 | 代理人： | 任文婷 |
| 地址： | 523000 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种氧化铌靶材，包括本体，所述本体包括背管，所述背管的表面喷涂有氧化铌层，所述背管的材质为SUS圆管，所述氧化铌层通过等离子喷涂工艺喷涂在背管的表面，所述背管的外径为132.3毫米，所述背管的内径为124.4毫米，所述背管的长度为869.3毫米，所述氧化铌层的长度为785.3毫米，所述本体的直径为143.8毫米。本实用新型通过本体、背管和氧化铌层的配合，实现了使用寿命长的目的，防止氧化铌靶材使用过程中被污染，延长了氧化铌靶材的使用周期，保证了镀膜效果及膜层功能，提高了使用者对氧化铌靶材的体验感，满足当今市场的需求，提高了氧化铌靶材的实用性和使用性，解决了以往氧化铌靶材使用寿命短的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化 铌靶材 | ||
【主权项】：
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