[实用新型]一种MEMS电容式开关及电子设备有效
| 申请号： | 202020916623.4 | 申请日： | 2020-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN212322915U | 公开（公告）日： | 2021-01-08 |
| 发明（设计）人： | 孔令成;朱雁青;王超;李杨 | 申请（专利权）人： | 瑞声声学科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H01H59/00 | 分类号： | H01H59/00;B81B3/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 深圳市恒申知识产权事务所(普通合伙) 44312 | 代理人： | 龙丹丹 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南山区高*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种MEMS电容式开关及电子设备，其中MEMS电容式开关包括衬底、设置在所述衬底表面的介质层、通过锚点架设在所述介质层上方的金属梁、设置于所述介质层表面并与所述金属梁相对的有效电极、设置于所述有效电极周侧的驱动电极以及设置于所述驱动电极表面且位于所述驱动电极与所述金属梁之间的介质柱，所述介质柱设置于所述有效电极的周侧，且所述介质柱沿垂直所述介质层方向切割的截面具有特定形状，使所述介质柱竖直方向的刚度小于水平方向的刚度的1/10。本实用新型提供的MEMS电容式开关，可以在不需要反复调节、加工工艺简单、易控制的情况下，获得高关态电容。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 电容 开关 电子设备 | ||
【主权项】：
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