[实用新型]一种MEMS电容式开关有效
| 申请号： | 202020917609.6 | 申请日： | 2020-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN212587408U | 公开（公告）日： | 2021-02-23 |
| 发明（设计）人： | 孔令成;朱雁青;王超;李杨 | 申请（专利权）人： | 瑞声声学科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H01H36/00 | 分类号： | H01H36/00;B81B3/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 深圳市恒申知识产权事务所(普通合伙) 44312 | 代理人： | 龙丹丹 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南山区高*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种MEMS电容式开关，包括衬底，设置于衬底表面的介质层、通过锚点架设在介质层上方的金属梁、设置于介质层表面并与金属梁相对的有效电极、设置于有效电极周侧的驱动电极以及设置于驱动电极和金属梁之间的介质柱，介质柱为柔性材质。本实用新型的金属梁在静电力作用下被拉至有效电容运动的过程中，碰到介质柱，由于介质柱为柔性材质，介质柱会被压缩，从而使得金属梁下表面与有效电容的上表面完全接触，提高了关态电容。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 电容 开关 | ||
【主权项】：
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