[实用新型]一种带有直插式电极支架座的自动固晶机有效
申请号: | 202020923847.8 | 申请日: | 2020-05-27 |
公开(公告)号: | CN212542360U | 公开(公告)日: | 2021-02-12 |
发明(设计)人: | 黄水平 | 申请(专利权)人: | 深圳市晶鑫晨光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L33/48 |
代理公司: | 佛山市海融科创知识产权代理事务所(普通合伙) 44377 | 代理人: | 陈志超 |
地址: | 518106 广东省深圳市光明新区*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型提供一种带有直插式电极支架座的自动固晶机,包括自动固晶机本体和支架座,支架座安装在自动固晶机本体中的水平移动机构上,水平移动机构用于带动支架座沿X/Y轴方向水平移动;支架座包括底板、第一连接板、第二连接板和多个限位板,第一连接板、第二连接板和限位板均垂直于底板表面,第一连接板靠近底板一端,第二连接板靠近底板另一端,第一连接板与第二连接板之间通过导杆连接,导轨与水平地面平行,限位板沿直线排列式安装在导杆上,限位板与导杆可分离式连接;底板上安装有一水平传动机构,水平传动机构上安装有一靠板,靠板与底板相互垂直,水平传动机构用于带动靠板朝限位板方向水平移动,以使相邻两限位板受压紧靠。 | ||
搜索关键词: | 一种 带有 直插式 电极 支架 自动 固晶机 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造