[实用新型]一种真空气流控制系统有效
| 申请号： | 202020927698.2 | 申请日： | 2020-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN212181323U | 公开（公告）日： | 2020-12-18 |
| 发明（设计）人： | 乔文韬;郑华 | 申请（专利权）人： | 上海精谱科技有限公司 |
| 主分类号： | G05D7/06 | 分类号： | G05D7/06;F04B37/14 |
| 代理公司： | 上海宏威知识产权代理有限公司 31250 | 代理人： | 赵芳梅 |
| 地址： | 200000 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种真空气流控制系统，其连接于分析仪器的真空室外，包括：气体流速控制装置以及空气过滤系统；当抽真空时，气体由真空室经由四通至气体流速控制装置后由所述真空泵抽出；当泄压时，气体由所述空气过滤系统经由四通到达所述真空室。本申请在保持分析仪器现有结构的优点下直接外接于真空室，降低进入和流出真空室内的气体的流速，并且保证真空室内的真空度和洁净度，从而起到保护真空室内电器元件的作用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 气流 控制系统 | ||
【主权项】：
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