[实用新型]用于等离子体室的边缘环有效
| 申请号： | 202020930152.2 | 申请日： | 2020-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN212676216U | 公开（公告）日： | 2021-03-09 |
| 发明（设计）人： | 迈克尔·C·凯洛格;亚当·克里斯多夫·梅斯;阿列克谢·马拉霍塔诺夫;约翰·霍兰德;陈志刚;菲力克斯·莱布·科扎克维奇;亚历山大·马丘什金;肖恩·东海林 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | H01J37/02 | 分类号： | H01J37/02;H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 樊英如;张静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种用于等离子体室的边缘环。所述边缘环被配置为沿着衬底支撑件的外围放置。所述边缘环的特征在于顶部和底部。所述边缘环的顶部具有内部台阶区域、顶部倾斜区域、中间顶部区域和外部台阶区域。所述中间顶部区域在所述顶部倾斜区域和所述外部台阶区域之间延伸，并且所述顶部倾斜区域位于所述内部台阶区域和所述中间顶部区域之间。所述顶部倾斜区域具有顶部倾斜表面。所述边缘环的底部包括内底部环表面、中间底部倾斜表面和外底部环表面。所述中间底部倾斜表面在所述内底部环表面和所述外底部环表面之间。所述外底部环表面具有从所述外底部环表面形成到所述边缘环中的多个螺钉插孔件。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 等离子体 边缘 | ||
【主权项】：
暂无信息
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