[实用新型]一种具有除静电除尘功能的光刻设备有效
| 申请号： | 202020942405.8 | 申请日： | 2020-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN211857178U | 公开（公告）日： | 2020-11-03 |
| 发明（设计）人： | 温伟华 | 申请（专利权）人： | 广东台名智能设备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H05F3/00 |
| 代理公司： | 深圳科湾知识产权代理事务所(普通合伙) 44585 | 代理人： | 钟斌 |
| 地址： | 523000 广东省东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种具有除静电除尘功能的光刻设备，包括：传输机构（1）、投影机构（3）、投影支架（4）和机箱（5），传输机构（1）从机箱（5）的前端延伸至后端，投影机构（3）固定在投影支架（4）上，投影支架（4）位于机箱（5）的后端；光刻设备还包括：除静电机构（6），除静电机构（6）位于投影支架（4）的前侧；机箱（5）包括：两个通风口（53），两个通风口（53）分别位于机箱（5）的两侧。由于采用了除静电机构，因此可以在投影机构投射图案之前，将电路板上的静电和灰尘消除，提高线路光刻的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 静电 除尘 功能 光刻 设备 | ||
【主权项】：
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