[实用新型]一种具有投影微调机构的光刻设备有效
| 申请号： | 202020943807.X | 申请日： | 2020-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN211857180U | 公开（公告）日： | 2020-11-03 |
| 发明（设计）人： | 温伟华 | 申请（专利权）人： | 广东台名智能设备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03B21/54 |
| 代理公司： | 深圳科湾知识产权代理事务所(普通合伙) 44585 | 代理人： | 钟斌 |
| 地址： | 523000 广东省东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种具有投影微调机构的光刻设备，包括：传输机构（1）、投影机构（3）、投影支架（4）和机箱（5），传输机构（1）从机箱（5）的前端延伸至后端，投影机构（3）固定在投影支架（4）上，投影支架（4）位于机箱（5）的后端；投影支架（4）包括：支架主体（41）和投影微调机构，投影微调机构固定在支架主体（41）的上端，投影微调机构包括：纵向滑轨（42）和横向滑轨（43），横向滑轨（43）沿前后方向可移动地设置在纵向滑轨（42）上，投影机构（3）沿左右方向可移动地设置在横向滑轨（43）上。由于采用了投影微调机构，因此可以对投影机构的位置进行前后和左右方向的微调，配合电路板将投影图案投射到正确的位置上，保证产品的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 投影 微调 机构 光刻 设备 | ||
【主权项】：
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