[实用新型]一种延长去PSG药液寿命的装置有效
| 申请号： | 202020948729.2 | 申请日： | 2020-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN211929448U | 公开（公告）日： | 2020-11-13 |
| 发明（设计）人： | 殷召柱;任军利;马章彦 | 申请（专利权）人： | 徐州谷阳新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司： | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人： | 贺翔 |
| 地址： | 221300 江苏省徐州市邳*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公布一种延长去PSG药液寿命的装置，包括主槽、副槽、电导率测试仪、PLC模块、至少两个电磁阀、至少两个气动阀；其中，主槽的管道中安装有电导率测试仪，主槽与副槽相连，副槽上通过第一气动阀连通到两恒压罐，第一恒压罐的进水口通过第一气动阀连接到纯水管路上；第二恒压罐的进水口通过第二地动阀连接到PSG药液管路上；第一气动阀的气管连接到第一电磁阀上，第一电磁阀的信号线电连接至PLC模块上；第二气动阀的气管连接到第二电磁阀上，第二电磁阀的信号线电连接PLC模块；所述电导率测试仪的信号线电连接PLC模块。本实用新型理论上可以将去PSG链试机的药液寿命延长，同时能杜绝在正常生产中突然出现批量性过刻或漏刻的现象发生。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 延长 psg 药液 寿命 装置 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
