[实用新型]一种能用于AlN设备长晶支撑热场隔热的支架有效
| 申请号： | 202020949074.0 | 申请日： | 2020-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN212175077U | 公开（公告）日： | 2020-12-18 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00;C30B29/40 |
| 代理公司： | 哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙) 23209 | 代理人： | 韩立岩 |
| 地址： | 150000 黑龙江省哈尔滨市南岗区*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 一种能用于AlN设备长晶支撑热场隔热的支架，属于晶体制备装置技术领域。本实用新型解决了而目前用于晶体制备装置的支架寿命短，硬度差，隔热效果不好的缺陷问题。本实用新型包括上支撑块、中间支撑块和下支撑块，上支撑块和下支撑块通过中间支撑块连接。本实用新型的支架操作简单，安装方便，材料易得，加工精度高，材料支撑强度高，通过层状结构可以有效的减少热损失，在制备晶体时，隔绝了热场中的热向下传导，保证底盘处温度处于低点，起到了良好的隔热效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 aln 设备 支撑 隔热 支架 | ||
【主权项】：
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