[实用新型]一种晶圆研磨自动上料机器臂

摘要

本实用新型公开了一种晶圆研磨自动上料机器臂，包括机器台和转珠，所述机器台的内部设置有微型电机，且微型电机的两侧均设置有第一固定栓，所述第一固定栓的一侧设置有转轴，且转轴的一侧设置有散热框，所述转珠均设置在机器台的上方，且转珠的上方设置有卡块，所述卡块的一侧设置有第一电动推杆，且第一电动推杆的上方两侧均设置有连接块，所述连接块的内侧设置有第二固定栓，且第二固定栓的上方设置有支撑架。该晶圆研磨自动上料机器臂中，旋转杆与第三电动推杆对滑动套起到旋转作用，在日常使用中，滑动套的设置便于对装置进行固定，同时滑动套对拉钩螺纹固定作用，便于对拉钩进行更换。