[实用新型]一种RCZ法拉制镓掺杂单晶硅的导流筒结构有效
| 申请号： | 202020952838.1 | 申请日： | 2020-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN213708547U | 公开（公告）日： | 2021-07-16 |
| 发明（设计）人： | 马新星;王艺澄 | 申请（专利权）人： | 包头美科硅能源有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B15/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 马严龙 |
| 地址： | 014010 内蒙古自治区*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种RCZ法拉制镓掺杂单晶硅的导流筒结构，包括盛有液态硅的石英坩埚，所述液态硅的液面上设有外导流筒，外导流筒为纵向布置的管状结构，其底部开口小于上部开口，所述外导流筒内置与其结构相同的内导流筒，外导流筒与内导流筒之间为高效保温毡，外导流筒的上边缘与内导流筒的上边缘之间填充有导流筒固毡环，所述内导流筒内安装有水冷屏。本实用新型可以有效地提高等径过程中单晶的生长速度，增加掺镓单晶的有效长度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 rcz 法拉 掺杂 单晶硅 导流 结构 | ||
【主权项】：
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