[实用新型]一种用于真空镀膜的挂载工装有效
申请号: | 202020960297.7 | 申请日: | 2020-05-29 |
公开(公告)号: | CN212505049U | 公开(公告)日: | 2021-02-09 |
发明(设计)人: | 郑亮;李鸿飞 | 申请(专利权)人: | 江苏特丽亮镀膜科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50;C23C14/34 |
代理公司: | 无锡睿升知识产权代理事务所(普通合伙) 32376 | 代理人: | 张悦 |
地址: | 214000 江苏省无*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种用于真空镀膜的挂载工装;其特征在于:包括设置在转盘上的底板、围绕溅射装置设置的立柱、围绕所述立柱设置的顶板、设置在相邻所述立柱之间的挂架和挂置产品的挂件;所述立柱设置在所述底板上;所述顶板设置在所述立柱上远离所述底板的一端;所述挂件并列设置在所述挂架上。解决了现有方案造成的产品进行真空镀膜时产品会产生晃动严重影响产品的真空镀膜质量和挂架为一体式拆装较为困难等问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 真空镀膜 工装 | ||
【主权项】:
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