[实用新型]MEMS麦克风有效
| 申请号： | 202020961621.7 | 申请日： | 2020-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN212588513U | 公开（公告）日： | 2021-02-23 |
| 发明（设计）人： | 柏杨 | 申请（专利权）人： | 瑞声科技（南京）有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 深圳国新南方知识产权代理有限公司 44374 | 代理人： | 张曾明 |
| 地址： | 210093 江苏省南京市栖霞区仙林*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种MEMS麦克风，通过将封装壳体直接固定在柔性基板上以形成收容空间，在封装壳体与柔性基板形成的收容空间中，MEMS芯片和ASIC芯片分别固定在柔性基板上，并实现了MEMS芯片、ASIC芯片与柔性基板的电性连接，所述柔性基板设置至少环绕所述MEMS芯片的位于所述收容空间内的缓冲部。所述缓冲部形成的柔性连接会释放部分外部动能，并扩大收容空间的体积，以减缓收容空间气压上升的速度，从而减少对MEMS芯片中设置的振膜和背板等结构的冲击，提高了MEMS芯片在大气流、跌落、振动等极端环境下的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 | ||
【主权项】：
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