[实用新型]一种图形化蓝宝石衬底有效
申请号: | 202020967823.2 | 申请日: | 2020-06-01 |
公开(公告)号: | CN212062457U | 公开(公告)日: | 2020-12-01 |
发明(设计)人: | 侯想;钟梦洁;刘杨;蔡琦;李思宏 | 申请(专利权)人: | 福建中晶科技有限公司 |
主分类号: | H01L33/20 | 分类号: | H01L33/20 |
代理公司: | 天津铂茂专利代理事务所(普通合伙) 12241 | 代理人: | 陈晓蕾 |
地址: | 364000 福建*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种图形化蓝宝石衬底,包括采用蓝宝石材料且图形尺寸为底宽0.45‑9.9um、高度0.3‑10um的衬底;所述衬底为圆锥形且锥部向上,所述衬底从锥部向下依次包括覆膜段、中段、联结段,所述覆膜段的上表面贴覆有氮化铝材料制成纳米级厚度的覆膜,所述覆膜位于所述中段的上方并悬空设置呈桥梁状;所述衬底有多个且呈线性阵列分布,相邻的圆锥形的衬底与所述覆膜之间设有凹槽。本实用新型的图形化蓝宝石衬底能有效提升LED光提取效率,能减少蓝宝石和GaN之间因较大的晶格失配而导致的应变,不仅解决了GaN外延材料的外延生长雾化问题,而且使外延生长体积减小,有效缩短外延生长时间。 | ||
搜索关键词: | 一种 图形 蓝宝石 衬底 | ||
【主权项】:
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