[实用新型]一种具有石墨烯导电膜的VCSEL有效
| 申请号： | 202020968389.X | 申请日： | 2020-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN212435033U | 公开（公告）日： | 2021-01-29 |
| 发明（设计）人： | 田宇;李峰柱;韩效亚;杜石磊 | 申请（专利权）人： | 厦门乾照半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/042 | 分类号： | H01S5/042;H01S5/183;H01S5/187;H01S5/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 361001 福建省厦门市*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： |
本实用新型提供了一种具有石墨烯导电膜的VCSEL，通过在所述外延叠层的裸露面覆盖与所述第一电极形成连接的石墨烯导电膜，且所述石墨烯导电膜包括依次层叠的第一绝缘层、石墨烯薄膜层、第二绝缘层，所述第一绝缘层或第二绝缘层直接层叠于所述外延叠层的裸露面；使载流子均匀扩散并集中在VCSEL芯片的有效发光面积内，从而增加载流子复合，抑制边缘增益，降低高阶模产生的几率。同时，由于载流子分布均匀，在一定程度上降低了焦耳热，从而达到降低阈值、提高增益的效果。其次，其外延叠层通过设置Al |
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| 搜索关键词： | 一种 具有 石墨 导电 vcsel | ||
【主权项】：
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