[实用新型]一种靶材冷却背板及磁控溅射镀膜设备有效
| 申请号： | 202020969648.0 | 申请日： | 2020-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN212925153U | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;龚祖光 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种靶材冷却背板及磁控溅射镀膜设备，所述靶材冷却背板包括底板和盖板，所述底板包括冷却通道，所述盖板在相对于所述冷却通道的位置设置凸台。所述盖板上的凸台设计，可以显著增加冷却通道边缘处的焊接结合率，焊接结合率≥98.0％，从而提高了冷却通道的密封性，避免了冷却水泄漏导致溅射靶材中毒的风险。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 冷却 背板 磁控溅射 镀膜 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁波江丰电子材料股份有限公司，未经宁波江丰电子材料股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202020969648.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
