[实用新型]一种晶圆用一体式清洗设备

摘要

本实用新型公开了一种晶圆用一体式清洗设备，包括圆柱形槽体，圆柱形槽体均匀分成3个半扇形细分槽体，细分槽体包括硫酸清洗槽体，氢氟酸清洗槽体以及去离子水冲洗槽体，圆柱形槽体中间设有升降气缸，升降气缸的输出轴上设有固定板，固定板上设有伺服电机，伺服电机的输出轴上连接有晶圆搬运结构，晶圆搬运结构上放置有晶圆放置架，晶圆放置架上排列有多个晶圆，晶圆搬运结构包括设置在伺服电机输出轴上的承载板，对称且横向设置在承载板上的横向支臂，竖直连接在横向支臂下方的下支臂以及设置在下支臂末端的托板。三种槽体呈环形布置，相比流水线形式，节省空间，而且搬运臂运行距离短，时间少，效率高。