[实用新型]一种用于掩膜版的烘烤夹具及烘烤系统

摘要

本实用新型公开了一种用于掩膜版的烘烤夹具，包括壳体，壳体内设置有与掩膜版尺寸匹配的通槽，通槽内设置有用于支撑掩膜版的衬台；壳体背面设置有定位槽；本实用新型还公开了一种烘烤系统，包括加载机、加热机和传送机，加热机包括加热板和布置在加热板上可伸缩的顶柱，还包括用于掩膜版的烘烤夹具，所述烘烤夹具布置在加热板上；本实用新型的烘烤系统实现了高世代涂布系统对不同尺寸的掩膜版的光阻加热功能，扩大了可生产产品种类，提高了设备的通用性，也提高了涂布加热机的稼动率和利用率，降低了生产成本、增加了效益。