[实用新型]一种长条加热器生产工装有效

专利信息
申请号: 202020979499.6 申请日: 2020-06-02
公开(公告)号: CN212925164U 公开(公告)日: 2021-04-09
发明(设计)人: 刘汝强;王殿春;孙蕾;吴思华 申请(专利权)人: 山东国晶新材料有限公司
主分类号: C23C16/458 分类号: C23C16/458;C23C16/34
代理公司: 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 代理人: 赵龙群
地址: 251200 山*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 发明涉及一种长条加热器生产工装,包括吊具、支撑杆和U形挂件,吊具和支撑杆相连接,且支撑杆设置在吊具的下部,吊具上开设有第一通孔,反应炉旋转杆贯穿第一通孔,将长条加热器生产工装固定在反应炉中;连接螺杆贯穿支撑杆上的第二通孔和U形挂件上的第三通孔,并且连接螺杆的两端均设置有螺母,从而将两个U形挂件对称固定在支撑杆的两侧;待涂覆PBN涂层的长条加热器的两个电极分别固定在U形挂件开口端的两个壁上。本实用新型采用两个U形挂件来悬挂长条加热器,避免了单边悬挂带来的侧偏问题,保证了加热器PBN涂层的均匀性;采用锥形螺杆悬挂长条加热器电极孔的方式,有效避免了加热器的变形问题。
搜索关键词: 一种 长条 加热器 生产 工装
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