[实用新型]一种气相沉积用喷淋板的孔径检测治具有效
| 申请号： | 202020982436.6 | 申请日： | 2020-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN212320602U | 公开（公告）日： | 2021-01-08 |
| 发明（设计）人： | 张代龙;穆帅帅;马有杰;贺贤汉 | 申请（专利权）人： | 富乐德科技发展（天津）有限公司 |
| 主分类号： | G01B5/12 | 分类号： | G01B5/12 |
| 代理公司： | 天津市新天方专利代理有限责任公司 12104 | 代理人： | 孔珍 |
| 地址： | 301712 天津*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型是一种气相沉积用喷淋板的孔径检测治具，包括治具底座，其特征在于，在治具底座的上表面安有前后对应的弧形卡座二，前后弧形卡座二之间形成环形开孔二，在前后弧形卡座二的上表面均对应固接有弧形卡座一，前后弧形卡座一之间形成环形开孔一，弧形卡座一、弧形卡座二与治具底座之间依次呈阶梯状结构设置。本实用新型通过在治具底座上设置弧形卡座一，弧形卡座二，以及同轴的环形开孔一和环形开孔二，在不更换检测治具的情况下，实现了自由切换检测不同规格的喷淋板的孔径，通过设置与喷淋板的定位块相适配的定位槽一和定位槽二，配合弧形卡座一的固定孔，避免了喷淋板与检测治具发生相对移动，进而提高了检测的工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 沉积 喷淋 孔径 检测 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于富乐德科技发展（天津）有限公司，未经富乐德科技发展（天津）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202020982436.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
