[实用新型]一种MEMS电容式开关有效
| 申请号： | 202020986486.1 | 申请日： | 2020-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN212322916U | 公开（公告）日： | 2021-01-08 |
| 发明（设计）人： | 孔令成;朱雁青;王超;李杨 | 申请（专利权）人： | 瑞声声学科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H01H59/00 | 分类号： | H01H59/00 |
| 代理公司： | 深圳市恒申知识产权事务所(普通合伙) 44312 | 代理人： | 任哲夫 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南山区高*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种MEMS电容式开关，包括衬底以及设置于所述衬底上方的开关梁和有效电极，所述开关梁包括与所述衬底平行设置的横梁部和与所述横梁部垂直的延伸部，所述有效电极设置于所述横梁部和所述衬底之间，至少在所述MEMS电容式开关处于关态时，所述有效电极的顶壁与所述开关梁的横梁部相对，所述有效电极的侧壁与所述开关梁的延伸部相对，以形成电容器。本实用新型所述的开关整体结构简单，是一种能同时实现高关/开态电容比的MEMS电容式开关，与传统的仅有变间距平板电容的开关相比，减小了电荷注入，从而增加了开关寿命，提高了开关的可靠性，工艺上容易实现，易于制造。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 电容 开关 | ||
【主权项】：
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