[实用新型]一种镀银抗菌织物的制备装置有效
| 申请号： | 202020997495.0 | 申请日： | 2020-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN212357369U | 公开（公告）日： | 2021-01-15 |
| 发明（设计）人： | 张仁熙;金成刚;常鹏 | 申请（专利权）人： | 苏州卫鹏机电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/20;C23C14/02;D06M10/06;D06M10/02;D06M11/83;D06M101/06 |
| 代理公司： | 北京东正专利代理事务所(普通合伙) 11312 | 代理人： | 张亦华 |
| 地址： | 215129 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种镀银抗菌织物的制备装置，包括反应腔体、等离子体电源和真空抽吸泵，真空抽吸泵与反应腔体内部连通，反应腔体内部两侧分别安装与等离子体电源两极连接的正电极和负电极，反应腔体内底部安装靶材台，反应腔体中部活动安装屏蔽罩，靶材台与屏蔽罩之间的反应腔体侧壁开设溅射气体入口，反应腔体顶部安装基材台，反应腔体顶部与溅射气体入口相对的另一侧壁开设改性气体入口。与现有技术相比，本实用新型采用一体式改性‑溅射反应腔体形式，结构紧凑合理；可通过调节基材台与靶材台间距，方便控制镀层厚度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镀银 抗菌 织物 制备 装置 | ||
【主权项】：
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