[实用新型]带数据显示功能的一体化微机电系统热处理氢探头有效
| 申请号： | 202021007120.1 | 申请日： | 2020-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN212111356U | 公开（公告）日： | 2020-12-08 |
| 发明（设计）人： | 吴锴;陈骞 | 申请（专利权）人： | 武汉市华敏智造科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N33/00 | 分类号： | G01N33/00;C23C8/24 |
| 代理公司： | 武汉开元知识产权代理有限公司 42104 | 代理人： | 唐正玉 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉市东湖新技术开*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及带数据显示功能的一体化微机电系统热处理氢探头，结构为：保护盒体安装在耐高温测量气室的检测口位置；MEMS氢传感器安装于保护盒体内部，检测端与耐高温检测气室的检测口连接；保护盒盖板盖在保护盒体上，高亮红色LED数据显示屏安装在电路板上，电路板安装于保护盒体内壁，高亮红色LED数据显示屏、MEMS氢传感器、电路板连接成回路；高亮红色LED数据显示屏通过保护盒体上的开孔露出，各部件装配完成后成为一体。本实用新型热处理氢探头采用小型的MEMS氢传感器，安装在热处理氮化炉上时，有害气体不会进入MEMS氢传感器内部，不会腐蚀和堵塞传感器，MEMS氢传感器测量的数据直接转化成氮势数据通过高亮红色LED数据显示屏显示出来，方便操作人员观察。 | ||
| 搜索关键词： | 数据 显示 功能 一体化 微机 系统 热处理 探头 | ||
【主权项】：
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