[实用新型]一种蓝宝石复合衬底有效
| 申请号： | 202021009022.1 | 申请日： | 2020-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN212161848U | 公开（公告）日： | 2020-12-15 |
| 发明（设计）人： | 余金隆;庄家铭 | 申请（专利权）人： | 佛山市国星半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/44 | 分类号： | H01L33/44;H01L33/46;H01L33/64;H01L33/00 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 胡枫;李素兰 |
| 地址： | 528200 广东省佛山市南海区狮*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种蓝宝石复合衬底，包括减薄蓝宝石衬底、设于减薄蓝宝石衬底正面的缺陷阻挡层、防止减薄蓝宝石衬底弯曲的增厚层、以及将增厚层粘接在减薄蓝宝石衬底背面的粘接层；所述缺陷阻挡层设有若干个开孔，所述缺陷阻挡层由透明不导电材料制成，所述透明不导电材料的晶格与外延层的晶格相配，所述增厚层由导热材料制成。本实用新型在减薄蓝宝石衬底上形成设有若干个开孔的缺陷阻挡层，有效减少氮化镓外延材料的位错密度，减少晶格缺陷；在减薄蓝宝石衬底的背面形成增厚层，可以减少衬底发生翘曲。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蓝宝石 复合 衬底 | ||
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