[实用新型]一种电子束蒸发台机械齿轮传动结构有效
| 申请号： | 202021011528.6 | 申请日： | 2020-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN212388102U | 公开（公告）日： | 2021-01-22 |
| 发明（设计）人： | 马溢华 | 申请（专利权）人： | 无锡芯谱半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;F16H37/04 |
| 代理公司： | 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489 | 代理人： | 韩璐 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市会*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型属于电子束蒸发台技术领域，尤其是一种电子束蒸发台机械齿轮传动结构，现提出如下方案，其包括电子束蒸发台，所述电子束蒸发台上设置有用于连接外部动力结构的驱动轴，所述电子束蒸发台的一侧孤固定安装有防护座，且防护座上开设有防护腔，所述驱动轴的一端延伸至防护腔内并固定套设有驱动齿轮；本实用新型的电子束蒸发台的传动结构设计简单巧妙，通过启动旋转电机，可以实现了对第一调速齿轮和第二调速齿轮进行纵向移动，而当第一调速齿轮或者第二调速齿轮和驱动齿轮相啮合的不同传动部件，可以达到带动驱动齿轮转动的速度也不相同，进而可以实现了电子束蒸发台根据使用需求进行调速的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子束 蒸发 机械 齿轮 传动 结构 | ||
【主权项】：
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