[实用新型]一种电子束蒸发台加热器装置有效

专利信息
申请号: 202021011687.6 申请日: 2020-06-04
公开(公告)号: CN212388103U 公开(公告)日: 2021-01-22
发明(设计)人: 马溢华 申请(专利权)人: 无锡芯谱半导体科技有限公司
主分类号: C23C14/30 分类号: C23C14/30
代理公司: 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489 代理人: 韩璐
地址: 214000 江苏省无锡市会*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型属于电子束蒸发法技术领域,尤其是一种电子束蒸发台加热器装置,包括电子束蒸发台,所述电子束蒸发台的一侧开设有安装槽,且安装槽内卡装有安装板,所述安装板的两侧均固定安装有固定板,所述固定板上开设有对称设置的两个固定槽,所述电子束蒸发台的一侧固定安装有两个对称设置的固定座,所述固定板的一侧贴合有对称设置的两个转动块,且转动块和相对应的固定槽相适配,所述转动块的两侧均固定安装有条形板;本实用新型操作方便,只需要简单的几个操作步骤便可以将电子加速器拆下,大大方便了维修人员对电子加速器的维修,提高了电子加速器拆卸效率,简化了电子加速器的拆卸步骤,具有较强的实用性。
搜索关键词: 一种 电子束 蒸发 加热器 装置
【主权项】:
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