[实用新型]一种电子束蒸发台蒸发工艺腔体有效
| 申请号： | 202021011689.5 | 申请日： | 2020-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN212247192U | 公开（公告）日： | 2020-12-29 |
| 发明（设计）人： | 马溢华 | 申请（专利权）人： | 无锡芯谱半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30 |
| 代理公司： | 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489 | 代理人： | 韩璐 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市会*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型属涉及半导体设备技术领域，尤其涉及一种电子束蒸发台蒸发工艺腔体，现提出如下方案，其包括；它包含腔体、基座、固定销、耳板、支撑杆、冷泵抽气管道；所述的腔体外的底部固定有数个基座；所述的腔体内的左右两侧均插设固定有数个固定销，固定销的尾端设于腔体的外侧；所述的腔体外的左右两侧均固定有数个耳板，固定销的尾端固定于耳板上，耳板上设有数个一号螺孔；所述的腔体内的下侧固定有数个支撑杆；所述的腔体的顶部设有进气管口，进气管口设于腔体的外侧，腔体的右侧设有冷泵抽气口；可以实现工艺腔体内的高真空密封性，腔体的单位体积小，且硅片装载数量大；而且冷泵抽速快，操作维护方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子束 蒸发 工艺 | ||
【主权项】：
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