[实用新型]半导体集成器件用高精度加工装置有效
申请号: | 202021013308.7 | 申请日: | 2020-06-05 |
公开(公告)号: | CN212978020U | 公开(公告)日: | 2021-04-16 |
发明(设计)人: | 陈学峰;李碧;胡乃仁;孙长委 | 申请(专利权)人: | 苏州固锝电子股份有限公司 |
主分类号: | B25B11/00 | 分类号: | B25B11/00 |
代理公司: | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人: | 马明渡;王健 |
地址: | 215053 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开一种半导体集成器件用高精度加工装置,包括本体和盖体,所述本体具有一放置区,一基板组件放置于放置区内,此基板组件包括载板、盖板框和基板,盖板框设置于基板上方,且盖板框的下表面与基板边缘处接触连接;盖体设置有若干个磁体,当盖体放置于具有基板组件的本体上时,磁体可与盖板框吸附连接;所述放置区为凹槽,此凹槽的一端设置有挡条,另一端为进料口,基板组件可自进料口滑动进入或离开放置区;所述放置区上设置有通孔,通孔内分别嵌入有一支撑柱,所述放置区设置有一升降装置,此升降装置与支撑柱连接。本实用新型既可以轻松、快速地将基板从载板上转移,方便了基板的取放,又提高了加工效率和产品稳定性。 | ||
搜索关键词: | 半导体 集成 器件 高精度 加工 装置 | ||
【主权项】:
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