[实用新型]一种OLED蒸镀设备有效
申请号: | 202021017858.6 | 申请日: | 2020-06-05 |
公开(公告)号: | CN212713726U | 公开(公告)日: | 2021-03-16 |
发明(设计)人: | 王仕伟;赵铮涛;曹绪文;祖伟;任清江;宋盖文;朱平;季韬 | 申请(专利权)人: | 安徽熙泰智能科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/12 |
代理公司: | 芜湖安汇知识产权代理有限公司 34107 | 代理人: | 方文倩 |
地址: | 241000 安徽省芜湖市芜湖长江*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种OLED蒸镀设备,其特征在于:包括蒸镀室,基板布置在所述蒸镀室上方中心位置,所述蒸镀室内设有间隔布置的多个坩埚,所述坩埚可沿边缘向中心基板方向移动。本实用新型OLED蒸镀设备,结构简单,镀膜质量好,可大大提升器件性能,具有较强的实用性和较好的应用前景。 | ||
搜索关键词: | 一种 oled 设备 | ||
【主权项】:
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