[实用新型]一种喷嘴安装辅助装置有效
| 申请号： | 202021019660.1 | 申请日： | 2020-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN212907650U | 公开（公告）日： | 2021-04-06 |
| 发明（设计）人： | 范宇辰;周夏 | 申请（专利权）人： | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 430205 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型属于半导体领域，尤其涉及一种喷嘴安装辅助装置。包括：一主杆；一高度调节装置，设置于所述主杆上；一方向调节装置，连接于所述高度调节装置上；一夹持装置，所述夹持装置上设置多个用于夹持喷嘴的夹具；一可调角底座，设置于所述主杆的末端上；其中，所述夹持装置连接于所述方向调节装置上。上述技术方案的有益效果是：提供一种喷嘴安装辅助装置，能够在夹持/松开喷嘴的同时，带动喷嘴进行高度和方向上的调节，从而使炉管喷嘴更换更便捷，可减少设备因更换喷嘴而停机的时间，降低喷嘴在更换过程中损坏的可能性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 喷嘴 安装 辅助 装置 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
