[实用新型]一种用于单晶硅片生产的烤箱有效
| 申请号： | 202021027600.4 | 申请日： | 2020-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN212293843U | 公开（公告）日： | 2021-01-05 |
| 发明（设计）人： | 王德喜 | 申请（专利权）人： | 天津莱昌电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B33/02 |
| 代理公司： | 北京久维律师事务所 11582 | 代理人： | 邢江峰 |
| 地址： | 300203 天津市*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于单晶硅片生产的烤箱，包括箱体，所述箱体内部中下端前侧、后侧均固定设置有固定杆，所述固定杆顶端之间活动设置有移动板，所述移动板顶端固定设置有放置板，所述放置板顶端两侧均固定设置有若干放置架，所述箱体外部右侧中部固定设置有加热机构，所述加热机构在远离箱体的一侧上端固定设置有连接管。本实用新型在对硅片进行加热烧烤时依次把硅片放置到安装在放置板顶端两侧的放置架之间，再同时启动加热机构和风机把加热机构内部的热量输送进箱体内部进行加热，且再通过滤框、管体把箱体内部的气流输送进风机内部，再通过风机把连接管、加热机构回流到箱体内部即可，这样便于减小箱体内部的热量流失从而减小加热成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 单晶硅 生产 烤箱 | ||
【主权项】：
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