[实用新型]一种电气机械加载的平面研磨装置有效

专利信息
申请号: 202021033553.4 申请日: 2020-06-08
公开(公告)号: CN212706144U 公开(公告)日: 2021-03-16
发明(设计)人: 沈思源;文东辉;章益栋;许鑫祺;王辉 申请(专利权)人: 浙江工业大学
主分类号: B24B37/005 分类号: B24B37/005;B24B37/10;B24B37/30;B24B37/34;B24B41/00;B24B47/12;B24B49/12;B24B49/16;B24B53/017
代理公司: 浙江千克知识产权代理有限公司 33246 代理人: 周希良
地址: 310014 *** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 实用新型公开了一种电气机械加载的平面研磨装置。包括机座、主轴系统、修面装置和压力加载装置,主轴系统设于机座内,主轴系统的顶部设有研磨盘,主轴系统带动研磨盘转动,修面装置设于研磨盘一侧,用于修整研磨盘,压力加载装置设于研磨盘上方,研磨盘表面设有工件,压力加载装置将压力施加于工件;压力加载装置包括第一电机、第一驱动杆、压力传感器和压力加载盘,压力传感器安装于压力加载盘顶部,第一电机带动第一驱动杆下压所述压力加载盘,施加指定压力于工件上。实现了压力的准确、稳定、连续加载,并且实现了研磨过程中工件去除量的在线监测,另外主轴和修面装置的传动方式选用了带传动,可以更加平稳的修整研磨盘和研磨工件。
搜索关键词: 一种 电气 机械 加载 平面 研磨 装置
【主权项】:
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