[实用新型]一种用于烘箱回流的支架有效
| 申请号： | 202021037559.9 | 申请日： | 2020-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN212566791U | 公开（公告）日： | 2021-02-19 |
| 发明（设计）人： | 单开友;苏奎 | 申请（专利权）人： | 苏州东辉光学有限公司 |
| 主分类号： | F26B25/00 | 分类号： | F26B25/00 |
| 代理公司： | 广州市红荔专利代理有限公司 44214 | 代理人： | 唐婷婷 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于烘箱回流的支架，包括：工作台和若干个设置在工作台上的调平单元，调平单元之间形成放置硅片的容纳空腔；工作台上设置有腰型孔，调平单元设置在腰型孔内，调平单元与工作台滑动连接；调平单元包括支撑杆和若干个活动套设在支撑杆上的支撑座，支撑杆插设在工作台的腰形孔内，支撑座与支撑杆螺纹连接。通过上述方式，本实用新型能够支撑不同尺寸的硅片产品，并对每片硅片产品单独进行水平位置的调整，有效保证硅片产品在烘箱回流时处于水平放置，从而避免硅片产品上的光刻胶分布不均匀，减少对硅片产品后续加工的影响，提高硅片产品的品质。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 烘箱 回流 支架 | ||
【主权项】：
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